NS系列表面輪廓薄膜厚度臺階測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
中圖儀器CEM3000鎢燈絲掃描顯微電鏡憑借其簡便的操作系統,讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。在工業領域展現出廣泛的應用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現微觀的形貌和元素分析等。
中圖儀器SuperViewW粗糙度白光干涉輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。
中圖儀器掃描電鏡SEM電子顯微鏡緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花。
中圖儀器國產掃描電鏡廠家采用的鎢燈絲電子槍,發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。
NS系列探針式臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
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